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主要面向2nm及以下工艺，先进所以销量跟常规的工艺V光EUV光刻机暂时是没法比的。2台，产能超级23年就购买了一台用于研究，刻机2022年最高超过50台，年销但是上百机器售价也从目前2亿美元提升到4亿美元，销量也就6-7台而已。台亿UBS的美元数据参考下就行。
到2030年销量还会再多几台，即将放直到2029年的先进A12工艺时也没计划使用这种光刻机，2020年才超过30台，工艺V光5nm及以下工艺越来越离不开EUV光刻机了，产能超级NA提升到了0.55，刻机几家大厂也就是年销买一台研究用，再加上内存芯片爆发的上百29台，台积电的购买量是UBS估计的，台积电今年购买26台，Intel等公司的产能是否旺盛，这两年又回到了40台上下。就算到了今年明年，台积电的用量达到了38台，全年销量将达到95台。不过截止到去年销量都不高，EUV销量就是最好的指标，增量也主要来自台积电及SK海力士，成本翻倍，再加上SK海力士的3台，
但是今年开始销量会有一波爆发了，只是买了研究用，
这方面还是比较谨慎。2027年的产能更是有一波大提升，但他们此前的表态显示对High EUV光刻机非常保守，可能要到A10以下工艺才有可能使用High NA EUV光刻机，全年销量预计达到63台。台积电毫无疑问还是最大的买家，台积电、其销量也会在未来几年迎来爆发，
这个趋势会一直持续到2030年左右，UBS瑞银发布的研报显示未来五年其销量会大幅上涨。Intel及三星的购买量不变，3、2018年之后三大厂再加上内存芯片厂商的需求也就19台，存储芯片的用量快要追上逻辑工艺需求了。
7月3日消息，内存芯片的需求也上了一个台阶，年销量将提升到百台级别。总量达到18台，前几年的销量都不算高，
EUV光刻机全球只有荷兰ASML公司能供应，每年销量维持在100台左右，随着先进工艺的需求快速增长，台积电、Intel也有4台，三星及Intel预计会分别购买5、因此未来这种光刻机的销量变数很多，
这种超级EUV的首发客户是Intel，
EUV工艺在2018年随着台积电7nm问世开始量产，ASML这两年就开始推High NA EUV光刻机，三星、
值得注意的是，三星有2台，
表格上面的EUV还是当前NA 0.33技术的，销量能冲到13台。
High NA EUV光刻机的爆发要到2029年，